刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等方面。

大基金调研：粤芯半导体（智光电气），2019年下半年2个月内调研2次（产业投资概率高）
光刻胶：芯源微、晶瑞股份、容大感光、飞凯材料、广信材料、强力新材、江化微、南大光电、上海新阳等
测试设备：华峰测控、华兴源创、博杰股份
清洗设备：至纯科技
靶材：阿石创、江丰电子
电子气体：华特气体
氟化氢：多氟多、巨化股份、滨化股份
其他相关设备：赛腾股份、天通股份、晶盛机电