半导体检测设备进入产业化加速期,推荐中科飞测、精测电子(1)良率是晶圆生产的关键,半导体量检测设备在控制芯片良率中发挥核心作用,产品技术壁垒高、国产化率极低。根据 SEMI ,前道量检测设备约占半导体设备市场规模的11%,是仅次于光刻机的高壁垒设备。半导体量检测设备中国大陆市场规模约30亿美元,KLA、应用材料、日立等国外厂商长期垄断中国市场,国产替代前景广阔。(2)在明场/暗场检测领域,中科飞测、精测电子储备丰富技术。精测首台明场缺陷检测设备BFI-100E于2022年底交付客户验证。中科飞测明场/暗场设备进展亦非常顺利。(3)中科飞测目前已量产无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备,设备已应用到中芯国际、长江存储、士兰集科、青岛芯恩、长电科技通富微电等企业产线,22年其中国大陆市场份额约2%,规模上位列国产第一。(4)精测电子于2018年开始布局半导体领域,产品涵盖膜厚量测、关键尺寸量测、硅片应力量测、电子束缺陷检测、明场光学缺陷检测,设备已进入广州粤芯、长江存储、中芯国际等厂商。截止2023年4月23日,公司半导体在手订单约8.9亿元,于8月11日公司再新签1.7亿订单,检测设备进入放量成长期。西部半导体
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$中科飞测-U(sh688361)$
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