同花顺新增光刻机板块指数：重视该板块。[淘股吧]



目前国内唯一光刻机制造公司---上海微电子装备（集团）股份有限公司




目前持有---上海微电子装备（集团）股份有限公司股权的公司有：张江高科，上海电气
张江高科： 全资子公司张江浩成此次向微装公司投资人民币 223,450,000 元，投资完成后，张江浩成将持有微装公司 10.779%的股权。微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。微装公司拥有发明专利1442项，是国内工业4.0、先进制造、智能制造的典型代表。在先进封装光刻机等领域，微装公司的国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。
上海电气：公司母公司上海电气控股集团有限公司持有上海微电子27.0558%股权。

上海微电子装备（集团）股份有限公司零部件供应商：苏大维格，美埃科技
苏大维格：在光刻机方面，公司光刻设备整机除自用及向国内外高校及科研院所销售外，并成功实现了对半导体领域企业的销售；在光刻机关键器件方面，公司向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。制程越先进，光刻机光栅尺的周期精度要求越高，如28nm制程的光刻机要求的光栅尺周期精度小于2nm。公司相关产品周期精度小于1nm。
美埃科技：公司为上海微电子装备（集团）股份有限公司开发国内首台 28 纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1 级）洁净环境提供 EFU （超薄型设备端自带风机过滤机组）及 ULPA（超高效过滤器）等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。此外，在海外市场，公司系Intel、 ST Microelectronics 等国际半导体厂商的合格供应商，为其提供空气净化产品。公司在前述产品核心技术指标、客户信赖度等方面，可与国际品牌平行竞争，处于国内品牌领先的地位。


总结以上：

持有国产光刻机股权：张江高科+上海电气
国产光刻机供应商：苏大维格+美埃科技


光刻机核心零部件：

光刻机曝光系统：奥普光电
光刻机系统清洗：蓝英装备，富乐德
光学元件：茂来光学，炬光科技，腾景科技，晶方科技
光学镜头：福光股份，波长光电
光源：福晶科技
物镜：赛微电子

双工作台和沉浸系统：
光掩模版：华润微，路维光电，清溢光电
高端光刻胶：容大感光，上海新阳，南大光电，华懋科技，晶瑞电材，彤程新材，高盟新材
涂胶显影：芯源微
双工作台：华卓新科
空气净化设备：美埃科技
浸没式系统：启尔机电
恒温设备：同飞股份
控制器：电科数字
光刻机零部件：联合精密，新莱应材，泰晶科技，安泰科技，汉钟金机
拥有光刻机：大族激光，京华激光，英唐智控
光刻机寄售维修：东方嘉盛
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