MOCVD是将MO源与高纯氨气等特种气体在MOCVD设备中发生反应，并在衬底表面生成GaN等化合物半导体薄膜的过程，其核心原材料和设备包括MO源、衬底材料、特种气体和MOCVD设备。[淘股吧]


南大光电是全球主要的MO源生产商，2019年全球市占率超过30%，国内市占率第一，主要产品有三甲基镓、三甲基铟、三乙基镓和三甲基铝等，产品纯度达到6N水平，全面达到国际先进水平，在MO源领域公司已经实现进口替代并远销欧美亚太地区。

南大光电从事电子特气的子公司主要是全椒南大光电材料有限公司和2019年收购的山东飞源气体有限公司。公司电子特气主要是高纯磷烷、砷烷，在LED领域已经拥有一定份额，并在半导体特气实现进口替代，山东飞源也是国内三氟化氮和六氟化硫气体的主要生产企业。山东飞源目前已成为台积电、中芯国际、京东方、华星光电等知名晶圆代工及显示面板制造企业的供应商


南大光电于2017年开始研发 193nm光刻胶项目 并获得 02专项 相关项目立项，公司计划通过3年的建设、投产及实现销售，达到年产25吨193nm光刻胶产品的生产规模。所谓的193nm光刻胶有干法光刻胶和浸没式光刻胶，目前国内还没有企业有能力生产，北京科华的248nm即KrF光刻胶成功量产，但在65nm及以下制程必须要用193nm光刻胶。
南大光电于2016年12月承担了国家 ALD金属有机前驱体产品的开发和安全离子注入产品开发 这一 02专项 课题，目前公司可提供TDMAT等多种合格产品，其中TDMAT等部分产品已经在中芯国际通过认证，实现了小批量供应。