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从芯片制造再谈半导体设备和材料

淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 08:57 只看楼主(-1)    浏览/回复42185/377
最近的行情主要以震荡为主,量能也逐渐缩小下来,盘面具有连续赚钱效应的板块主要是汽车产业链和光伏产业链。科技股从7月中旬那一波牛市消失开始一直调整,时间和幅度都比较充分了, 最近也有企稳的迹象。上周开始股票ETF转为集中净申购,股票ETF净申购规模最高的是华夏国证半导体芯片ETF,达到16.2亿份。这说明已经有资金开始盯上了半导体产业链了,半导体行业的逻辑也是足够强大,第一,外围对我国频频掐脖子,只能加速国产替代进程,第二,目前我国的半导体产业同我国在全球产业链的地位严重背离,半导体没有核心技术,科技强国难以实现,第三,疫情不会改变全球半导体产业景气度上升的趋势,半导体产业核心公司在未来业绩有望改善。半导体芯片行业最强的风口当然是半导体材料和设备,因为这是制造芯片的基石。本文将从芯片制造生产线的角度重新梳理一下半导体材料和设备,主要以上市公司为主。

[淘股吧]
目前全球市场上芯片线生产主要分为7nm\14nm\28nm三种,14nm、7nm搭建的可行性几乎为零,目前没有探讨的意义,并且28nm仍属于目前主流制程之一,那么28nm的生产线需要哪些设备和材料呢?这里主要探讨芯片制造的上游,下游的封装和测试的几个核心主要是长电、华天、通富微电精测电子等。



1. 硅片制造:制作芯片的基底,硅片技术基本满足要求。

半导体硅片是制作芯片的基底,芯片制程越先进,对硅片质量的要求就越高。目前沪硅产业12英寸大硅片已可用于28nm制程的芯片制造,中环股份轻掺杂12英寸大硅片也已经进入28nm的技术节点。

拉晶炉是制作硅片的核心装置,南京晶能已成为沪硅产业12英寸大硅片生产线的拉晶炉国产供应商,可满足28nm及以上制程的硅片制作。

晶盛机电承担国家科技重大专项“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”,拉晶炉、切割机已供货中环股份,研磨机已供货沪硅产业。

2. 热处理设备有卧式炉、立式炉和快速升温炉(RTP),技术基本满足要求。

热处理主要包括氧化、扩散、退火工艺等环节,热处理氧化是在硅片表面形成氧化膜,高温热扩散是将杂质元素掺入硅衬底中,退火是修复离子注入后硅片的晶格缺陷。

热处理设备主要是卧式炉、立式炉和快速升温炉(RTP)。

目前国内的北方华创、Mattson(屹唐半导体)已经能够生产28nm及以上制程的热处理设备。

3. 光刻设备有光刻机和涂胶显影机,目前仍受到限制。

光刻是晶圆生产核心环节,在整个硅片加工成本中占到1/3。

光刻的工艺流程大致是用涂胶机将光刻胶涂覆在硅片表面,然后用光刻机将电路图形曝光在硅片上,再用显影机进行显影,去掉不需要的光刻胶。

光刻主要使用光刻机和涂胶显影机。

上海微电子是国内技术最先进的光刻机厂商,但目前只能量产90nm光刻机,据报道,2021年上海微电子将完成28nm国产光刻机的交付。

涂胶显影机方面,芯源微的前道Barc涂胶设备可以满足28nm工艺。

4. 刻蚀环节设备主要是刻蚀机和去胶设备,基本满足要求。

刻蚀是有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程,被光刻胶覆盖的硅片部分会受到保护而不被刻蚀,没有覆盖的部分将被刻蚀掉。

早期的刻蚀是用液体化学试剂的湿法刻蚀,3μm之后的工艺大多采用等离子体干法刻蚀。根据被刻蚀材料的种类,刻蚀设备可分为硅刻蚀、金属刻蚀和介质刻蚀设备三大类。

北方华创的硅刻蚀机在14nm工艺上取得重大进展,中微公司第二代电介质刻蚀设备已广泛应用于28到7nm后段制程以及10nm前段制程。

刻蚀之后使用去胶设备将表面遗留的光刻胶去除。屹唐半导体的去胶设备已经进入了5nm生产线。

5. 离子注入环节主要是注入机,基本满足要求

晶圆制造中需要将杂质离子(如硼离子、磷离子)掺入被刻蚀后的特定硅片区域中,从而形成PN结、电阻、欧姆接触等。离子注入是使带电粒子(离子)高速轰击硅片并将其注入硅衬底的方法。

中电科旗下北京中科信的12英寸离子注入机已进入中芯国际生产线,工艺覆盖至28nm。万业企业旗下凯世通的离子注入机已突破3nm工艺,主要参数均优于国外同类产品。

6. 薄膜沉积环节主要是PVD、CVD设备,基本满足要求。

绝缘薄膜(如SiO2)、半导体薄膜(如多晶硅)、导电薄膜(如金属)是芯片中的重要物质,薄膜沉积是各类薄膜形成的最主要方式。

薄膜沉积工艺分为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和外延三大类。PVD多应用于金属薄膜的沉积,CVD可应用于绝缘薄膜、半导体薄膜和导电膜层的沉积,外延是在硅片表面生长单晶薄膜的工艺。另外,ALD属于CVD的一种,是目前最先进的薄膜沉积技术。

北方华创的PVD设备已经用于28nm生产线中,14nm工艺设备也已实现重大进展。沈阳拓荆的PECVD设备已在中芯国际40-28nm产线使用,ALD设备也在14nm工艺产线通过验证。

7. 化学机械抛光环节设备主要是抛光机和抛光垫,目前仍受限制。

晶圆制造需要对硅片表面进行平坦化处理,不然会严重影响芯片的结构及良率。化学机械抛光(CMP)结合了化学作用与机械作用,使硅片表面材料与研磨液发生化学反应的同时,在研磨头的压力作用下进行抛光,最终使硅片表面实现平坦化。

华海清科和中电科45所均参与02专项项目——“28-14nm抛光设备及工艺、配套材料产业化”,研发300mm晶圆28-14nm“干进干出”CMP整机设备及结合配套材料的成套工艺。

目前华海清科的抛光机已进入中芯国际生产线,同时中电科45所8英寸设备正在被中芯国际验证。

抛光垫国内龙头是鼎龙股份,目前公司八寸和十二寸主流OX/W/Cu/STI/Poly等制程产品布局较为完善,应用于成熟制程领域的DH3000/DH3002/DH3010系列产品在持续开拓市场,应用于先进制程领域的产品DH3201/DH3410成功投产,并进一步推出DH3110/DH3310丰富产品线

8. 清洗设备已经基本满足要求。

几乎所有工艺流程都需要清洗环节,清洗步骤占半导体工艺所有步骤的1/3,最多可达到200次。

清洗机是将硅片表面的颗粒、有机物、金属杂质等污染物去除,以获得所需洁净表面的工艺设备。

北方华创、盛美半导体、至纯科技芯源微的清洗装备均可实现国产替代,其中盛美半导体是国内唯一进入14nm产线验证的清洗设备厂商。

9. 前道、后道量测基本满足要求。

晶圆制造中的前道量测可分为工艺检测和晶圆检测。

工艺检测设备可对每道工艺后的晶圆进行无损的检查和测量,以保证关键工艺参数满足指标,保证芯片的成品率。

晶圆检测设备包括硅片测试设备和晶圆中测设备。硅片测试设备主要包括厚度仪、颗粒检测仪、硅片分选仪等;晶圆中测设备主要包括探针卡、探针台和测试机等。

赛腾股份收购日本Optima进入半导体检测设备领域,Optima客户包含三星、SK 海力士、台积电等。中科飞测的几款前道检测设备实现国产设备零的突破,进入中芯国际、长江存储等国内大厂。

后道测量国内主要以长川科技华峰测控,精测电子等为主。

上述就是半导体芯片制造所需要的半导体材料和设备,目前国内独立搞一条28nm的生产线还有一定困难,不过目前各个领域发展迅速,最近一两年应该就可以了。

关于半导体产业链,个人认为四季度是有机会的,尤其是设备和材料。以上都是个人看法,不作任何投资依据,股市有风险,投资需谨慎,盈亏自负,风险自担。如果不看好,也烦请不要说风凉话,可以说出你的理由,如果不错大家给你点赞。市场会证明一切,码字不易,希望各位兄观看之余帮忙点赞,尤其是收藏的老师,最好都能给主贴点赞。同时也希望在这个帖子里面一起学交流的老师,能给这个帖子加油,送点积分,不在乎多少,这是一种态度,表明对我劳动成果的支持。谢谢各位老铁了。

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【 淘股吧: 纷飞的潇洒   原创于 2020-09-18 09:06 只看该作者(-1)

炮哥出品,必属精品

[ 沙发 ]
@Ta
【 淘股吧: 果果一铭   原创于 2020-09-18 09:08 只看该作者(-1)

竟然是沙发

[ 板凳 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:08 只看该作者(-1)

昨天市场资金有点消费切换科技意思之前提到韦尔股份也有中信证券出来站台科技如果开始反弹那么核心龙头肯定头阵能源汽车光伏目前只能低吸追高还是有一定风险没有仓位今天可以低吸趋势走好核心科技创业板可以加分9️后面还有两周时间就是国庆节如果量能不能有效放大那么很难启动行情估计依旧震荡
[淘股吧]

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5)中汽协:9月上旬11家重点企业汽车销量同比下降8.5%。2020年9月上旬,11家重点企业汽车产销分别完成72.9万辆和53.9万辆,产量同比增长17%、销量同比下降8.5%。
6)1-8月我国对“一带一路”沿线国家投资增长31.5%。
7)大资金“风向标”被大举买入,科技、券商及军工加仓力度最大。据统计,9月以来,沪深ETF合计获得98.34亿份净申购,这也是自今年4月以来,ETF月度净申购首度转正。
8)快手考虑最早于2021年初在香港进行IPO,融资规模50亿美元。

9)9月17日,北上资金净流入4.39亿,沪股通净流出23.23亿,深股通净流入27.62亿。

10)9月17日,人民币兑美元中间价报6.7675,上调150点,中间价升值至2019年5月9日以来最高。

11)国家卫健委数据显示,9月16日0—24时,31个省(自治区、直辖市)和新疆生产建设兵团报告新增确诊病例9例,均为境外输入病例(上海4例,陕西2例,河南1例,广东1例,云南1例);无新增死亡病例;新增疑似病例1例,为境外输入病例(在上海)。

12)美国约翰斯·霍普金斯大学实时统计数据显示,截至北京时间9月17日8时左右,全球累计确诊超2973万例,累计死亡93.85万例。

[ 地板 ]
@Ta
【 淘股吧: 总有一个梦想   转帖于 2020-09-18 09:11 只看该作者(-1)

炮哥 居然没有三代半导体、、、、?

[ 第4楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:11 只看该作者(-1)

早评又没发出来

果果一铭: 竟然是沙发
2020-09-18 09:08
[ 第5楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 洗唰唰   原创于 2020-09-18 09:13 只看该作者(-1)

从未在股吧充值过,只能无油干推了。

[ 第6楼 ]
@Ta
【 淘股吧: ST翔子   原创于 2020-09-18 09:14 只看该作者(-1)

第一油已送

[ 第7楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:14 只看该作者(-1)

只讨论材料和设备 不管是几代 没有这些设备都制造不出来

总有一个梦想: 炮哥 居然没有三代半导体、、、、?
2020-09-18 09:11
[ 第8楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:15 只看该作者(-1)

感谢老哥 今天吃肉

ST翔子: 第一油已送[牛逼]
2020-09-18 09:14
[ 第9楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:17 只看该作者(-1)

凌云吃到肉的兄弟,可以帮忙点赞和收藏一下

[ 第10楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 四青   原创于 2020-09-18 09:20 只看该作者(-1)

炮哥还是稳

[ 第11楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 糯米滋   原创于 2020-09-18 09:23 只看该作者(-1)

炮哥今天可以买啥

矮子火炮: 凌云吃到肉的兄弟,可以帮忙点赞和收藏一下[微笑]
2020-09-18 09:17
[ 第12楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:27 只看该作者(-1)

低吸科技和新能源

糯米滋: 炮哥今天可以买啥
2020-09-18 09:23 查看对话
[ 第13楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 四青   原创于 2020-09-18 09:43 只看该作者(-1)

科隆今天能进吗?还有酷特的低吸机会

矮子火炮: 低吸科技和新能源
2020-09-18 09:27 查看对话
[ 第14楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 09:55 只看该作者(-1)

材料和设备还是光刻机强

[ 第15楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:04 只看该作者(-1)

你说得这两都没关注过

四青: 科隆今天能进吗?还有酷特的低吸机会
2020-09-18 09:43 查看对话
[ 第16楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 皮卡皮卡卡   原创于 2020-09-18 10:06 只看该作者(-1)

炮哥,凌云可以做T么?还是趁低补仓呢

矮子火炮: 凌云吃到肉的兄弟,可以帮忙点赞和收藏一下[微笑]
2020-09-18 09:17
[ 第17楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:15 只看该作者(-1)

搞了一点雅克科技

[ 第18楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:16 只看该作者(-1)

今天估计震荡

皮卡皮卡卡: 炮哥,凌云可以做T么?还是趁低补仓呢
2020-09-18 10:06 查看对话
[ 第19楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 炒股新手111   原创于 2020-09-18 10:24 只看该作者(-1)

鼎龙有点弱

[ 第20楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 不涨停不高兴   原创于 2020-09-18 10:26 只看该作者(-1)

搞了点容大。和炮哥一样的板块。不过是龙头。

矮子火炮: 搞了一点雅克科技
2020-09-18 10:15
[ 第21楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:30 只看该作者(-1)

是啊

炒股新手111: 鼎龙有点弱
2020-09-18 10:24
[ 第22楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:33 只看该作者(-1)

这沃森真牛逼

[ 第23楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:35 只看该作者(-1)

好歹也是20cm的男人 就不能一步到位吗!

矮子火炮: 这沃森真牛逼[生气]
2020-09-18 10:33
[ 第24楼 ]
@Ta
【 淘股吧: RWXLL   原创于 2020-09-18 10:42 只看该作者(-1)

沃森渣男本色

矮子火炮: 好歹也是20cm的男人 就不能一步到位吗!
2020-09-18 10:35 查看对话
[ 第25楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 10:54 只看该作者(-1)

这长信有啥利空吗?怎么如此垃圾呀

[ 第26楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 包子铺掌柜   原创于 2020-09-18 11:01 只看该作者(-1)

散户太多,前期涨的太多?

矮子火炮: 这长信有啥利空吗?怎么如此垃圾呀
2020-09-18 10:54
[ 第27楼 ]
@Ta
【 淘股吧: cxf19821110   原创于 2020-09-18 11:13 只看该作者(-1)

因为不是光刻胶吧,除了第三代半导体和光刻胶,其他科技股其实这几天也没涨

矮子火炮: 这长信有啥利空吗?怎么如此垃圾呀
2020-09-18 10:54
[ 第28楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 11:54 只看该作者(-1)

还是简单说一下吧,指数还是震荡格局,昨天大消费崩一波,下午大科技拉起,没想到今天资金直接去了三傻,证券,地产和保险今天都强于指数,汽车产业链和光伏产业链调整。科技股跟随指数弱震荡,半导体材料和设备这一块,光刻胶还是相对最强势。创业板经过一段时间的集中炒作后,这几天还是冷清下来了,20CM也不多见了,成交额也在次少于主板。今天题材也是比较混乱,赚钱效应一般般,还有两周国庆节,这个期间如果不放量基本就是维持这样的震荡格局了。但是可以肯定的大趋势是资金开始从高位、高估值板块切换到低位低估值板块,行业景气度上升的行业更容易受到资金的青睐。后面两周应该是逐渐布局调整到位核心科技和低吸新能源以及光伏的好时机,此外三傻体量太大,资金频频假切换,但是这个板块一定要关注。前三个季度如果说上证指数主要靠大消费抬起,那么四季度大概率会是靠三傻。目前最好的策略就是控制仓位,基本面好的股持股多点耐心,谨慎追高。

[ 第29楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 会飞的鱼会飞   原创于 2020-09-18 12:05 只看该作者(-1)

@矮子火炮炮哥凤凰光学还有机会吗,军工股

[ 第30楼 ]
@Ta
【 淘股吧: ST翔子   原创于 2020-09-18 12:15 只看该作者(-1)

今年运气挣的钱凭实力还回去了

[ 第31楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 12:27 只看该作者(-1)

买了啥?

ST翔子: 今年运气挣的钱凭实力还回去了[思考][思考]
2020-09-18 12:15
[ 第32楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 12:29 只看该作者(-1)

这量也太小了吧

会飞的鱼会飞: @矮子火炮炮哥:凤凰光学还有机会吗,军工股
2020-09-18 12:05
[ 第33楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 纷飞的潇洒   原创于 2020-09-18 12:47 只看该作者(-1)

炮哥,现在保持几层仓位合适呢

[ 第34楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 12:53 只看该作者(-1)

半仓左右吧

纷飞的潇洒: 炮哥,现在保持几层仓位合适呢
2020-09-18 12:47
[ 第35楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 总有一个梦想   转帖于 2020-09-18 12:55 只看该作者(-1)

炮哥 上午深圳本地股咋这么牛逼、、、、、

[ 第36楼 ]
@Ta
【 淘股吧: ST翔子   原创于 2020-09-18 12:57 只看该作者(-1)

啥票都玩。一堆杂毛

矮子火炮: 买了啥?
2020-09-18 12:27 查看对话
[ 第37楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 13:32 只看该作者(-1)

有大资金进三傻了

[ 第38楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 新来的鲜韭菜   原创于 2020-09-18 14:00 只看该作者(-1)

炮哥,半仓都买了啥?

[ 第40楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:03 只看该作者(-1)

宁波 凌云 新易盛 长信 鼎龙 欣旺达 今天表现都一般

新来的鲜韭菜: 炮哥,半仓都买了啥?
2020-09-18 14:00
[ 第41楼 ]
@Ta
【 淘股吧: rouge459   原创于 2020-09-18 14:23 只看该作者(-1)

尾盘
可以买凌云吗

[ 第42楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:37 只看该作者(-1)

可以买

rouge459: 尾盘可以买凌云吗
2020-09-18 14:23
[ 第43楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 不要再亏了   原创于 2020-09-18 14:37 只看该作者(-1)

炮哥,我抄底了比亚迪

[ 第44楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:39 只看该作者(-1)

买了卧龙

rouge459: 尾盘可以买凌云吗
2020-09-18 14:23
[ 第45楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:42 只看该作者(-1)

昨天尾盘买的三今天都缩量,下周一没不表现直接撤

[ 第46楼 ]
@Ta
【 淘股吧: rouge459   原创于 2020-09-18 14:46 只看该作者(-1)

好的,谢谢炮兄,现在只有底仓,看好周一表现,今天缩量的

矮子火炮: 可以买
2020-09-18 14:37 查看对话
[ 第47楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:48 只看该作者(-1)

这一波至少会突破11

rouge459: 好的,谢谢炮兄,现在只有底仓,看好周一表现,今天缩量的
2020-09-18 14:46 查看对话
[ 第48楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:51 只看该作者(-1)

宁波华翔拉尾盘 ❤️

[ 第49楼 ]
@Ta
【 淘股吧: 矮子火炮   原创于 2020-09-18 14:52 只看该作者(-1)

宁波 均胜电子 守着兄弟都吃肉了吧

[ 第50楼 ]
@Ta
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