目前国内有几台ASML光刻机?



2018月5月,中芯国际向ASML订购了一套7nm制程的EUV光刻机设备价值高达1.2亿美元,这一设备将在今年运抵中国上海。(后来证实美国从中作梗,交易无限期推迟了)
2018年5月,国家存储器芯片基地——长江存储,也购买了ASML公司193nm浸润式光刻机,用于10nm级(14~20nm)的晶圆生产。目前已经运抵了武汉天河机场,陆续还有多台运进厂房。
2018年5月,上海华虹六厂也从ASML公司进口了193nm浸润式光刻机,工艺覆盖28-14纳米技术节点。
2018年12月,韩国SK海力士公司也从ASML公司进口了双工件台深紫外光刻机,用于可用于7nm节点,目前这个7nm光刻机已经运抵中国无锡工厂。
2019年3月,中国广州粤芯半导体也从ASML公司进口了多台光刻机设备,用于12英寸芯片生产。
光刻机是战略物资,拥有了光刻机,就拥有了核心设备。