万业企业-第三代半导体sic制造关键设备离子注入机
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方正证券：
在制程上，大部分设备不传统硅生产线相同，但由亍碳化硅具有硬度高等特性，需要一些特殊的生
产设备，如高温离子注入机、碳膜溅射仪、量产型高温退火炉等，其中是否具备高温离子注入机是
衡量碳化硅生产线的一个重要标准。
万业企业，子公司凯世通已明确其发展重心为集成电路离子注入机，“Finfet集成电路离 子注入机项目”的研发成果是公司未来集成电路离子注入机产业化的基础
在制程上，大部分设备不传统硅生产线相同，但由亍碳化硅具有硬度高等特性，需要一些特殊的生
产设备，如高温离子注入机、碳膜溅射仪、量产型高温退火炉等，其中是否具备高温离子注入机是
衡量碳化硅生产线的一个重要标准。
万业企业，子公司凯世通已明确其发展重心为集成电路离子注入机，“Finfet集成电路离 子注入机项目”的研发成果是公司未来集成电路离子注入机产业化的基础
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