上海：推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化·财联社7月16日讯，《上海市智能制造行动计划（2019—2021年）》正式发布，提出突破一批关键技术装备和核心零部件。在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。