“光刻机第一股”华卓精科冲刺科创板日前，这家被市场称作“光刻机第一股”的厂商，正式向上交所提交招股书并获受理。虽然不生产光刻机整机，但其实控人、清华大学教授朱煜透露，该公司生产的光刻机核心子系统——双工件台打破了ASML技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司！东兴证券保荐