汉钟精机的真空泵居然可以用于半导体甚至光刻领域
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汉钟精机简介:上海汉钟精机股份有限公司经过多年的发展,在螺杆式压缩机领域拥有雄厚的技术实力。公司将螺杆式压缩技术应用于不同的工作工质,如空气、真空、制冷剂、特殊气体等,成为全球应用工质最多的螺杆式压缩机生产企业之一。公司拥有将电动机优化设计、智能化控制技术和变频节能技术等综合运用到螺杆式压缩机领域的技术能力,研制出具有节能降耗特点的变频式螺杆压缩机,居全球技术开发的前列。上海汉钟秉持“品质挂帅,物超所值,客户满意,不断改善”的品质政策,提供优质的压缩机与相关系列产品服务大陆所有客户。依“品质,创新,服务”的信念,不断推出新产品,同时致力于服务系统整合,以提供客户最好的各类压缩机产品为职志。
汉钟精机是国内压缩机领域的领军企业。公司技术研发实力雄厚。目前已是全球应用工质最多的螺杆式压缩机生产企业之一,2017完成台湾新汉钟收购,真空泵收入激增75%。
AtlasCopco(阿特拉斯·科普柯)是世界领先的工业生产率解决方案提供商。其产品和服务范围涵盖压缩空气与气体设备、发电机、建筑与采矿设备、工业工具和装配系统以及相关的售后服务和租赁服务。
真空泵用在半导体制备的各个环节。干式真空泵用于营造干净的工况环境。一般来说每月生产40,000片初制晶元需要1,500单位真空工具和减排装置以及2,000个泵体。真空装置占整个fab投资的3%~5%,但是在能源消耗中占比20%以上。
3DNAND生产过程对真空泵需求激增。2018年3DNAND投资的持续增长, DRAM 投资的触底反弹,NAND投资高增长的主要驱动因素是多层3DNAND对2DNAND的替代。预计2018~2020年半导体设备投资将分别增长5%左右。
真空装置是下一代EUV光刻技术的必选项。ExtremeUltraviolet极紫外光刻(EUV)是下一代光刻主流技术。由于EUV在大规模制造半导体时能够有效减少越来越高的成本和工艺复杂程度,所以EUV对于客户的有着很高的吸引力。由于所有物质都会对紫外线产生吸附作用,真空环境对于EUV技术至关重要。
受泛半导体领域的应用需求拉动,干式机械真空泵市场的不断增长。12寸片新建产能配套新增需求及8寸片产能的配套存量替换,为我国大陆干式真空泵带来广阔的市场空间。目前干式真空泵的国产化率不足5%。公司的干式真空泵在光伏、LED等泛半导体领域实现批量供货。在晶圆制造及先进封装领域,公司产品前期有国际大厂试用记录,国内重要晶圆厂客户有望顺利导入。
汉钟精机是国内压缩机领域的领军企业。公司技术研发实力雄厚。目前已是全球应用工质最多的螺杆式压缩机生产企业之一,2017完成台湾新汉钟收购,真空泵收入激增75%。
AtlasCopco(阿特拉斯·科普柯)是世界领先的工业生产率解决方案提供商。其产品和服务范围涵盖压缩空气与气体设备、发电机、建筑与采矿设备、工业工具和装配系统以及相关的售后服务和租赁服务。
真空泵用在半导体制备的各个环节。干式真空泵用于营造干净的工况环境。一般来说每月生产40,000片初制晶元需要1,500单位真空工具和减排装置以及2,000个泵体。真空装置占整个fab投资的3%~5%,但是在能源消耗中占比20%以上。
3DNAND生产过程对真空泵需求激增。2018年3DNAND投资的持续增长, DRAM 投资的触底反弹,NAND投资高增长的主要驱动因素是多层3DNAND对2DNAND的替代。预计2018~2020年半导体设备投资将分别增长5%左右。
真空装置是下一代EUV光刻技术的必选项。ExtremeUltraviolet极紫外光刻(EUV)是下一代光刻主流技术。由于EUV在大规模制造半导体时能够有效减少越来越高的成本和工艺复杂程度,所以EUV对于客户的有着很高的吸引力。由于所有物质都会对紫外线产生吸附作用,真空环境对于EUV技术至关重要。
受泛半导体领域的应用需求拉动,干式机械真空泵市场的不断增长。12寸片新建产能配套新增需求及8寸片产能的配套存量替换,为我国大陆干式真空泵带来广阔的市场空间。目前干式真空泵的国产化率不足5%。公司的干式真空泵在光伏、LED等泛半导体领域实现批量供货。在晶圆制造及先进封装领域,公司产品前期有国际大厂试用记录,国内重要晶圆厂客户有望顺利导入。
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